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讀懂流量計(jì)關(guān)鍵參數(shù)

更新時(shí)間:2022-04-21點(diǎn)擊次數(shù):3721

問:1.質(zhì)量流量控制器,為什么以SCCM和SLM為單位?

答:從測量原理講,熱式質(zhì)量流量計(jì)是通過利用氣體的比熱與密度,采用毛細(xì)管溫差量熱法進(jìn)行測量,流量控制器測量的就是質(zhì)量流量,但顯示出的數(shù)值是通用的標(biāo)況(101325 Pa; 0℃)體積流量。由于一般氣體的密度都指標(biāo)況下的密度,因此直接用體積乘以密度就可以得到所通過氣體的質(zhì)量。SCCM 與 SLM 為體積流量的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)單位,代表標(biāo)況下的體積流量。SLM(Standard Liter per Minute)是表示每分鐘標(biāo)準(zhǔn)升。SCCM(Standard Cubic Centimeter per Minute)是表示每分鐘標(biāo)準(zhǔn)毫升。

問:2.流量控制器對使用條件和環(huán)境有什么要求?

答:通常情況是環(huán)境溫度,流量規(guī)格,壓力根據(jù)產(chǎn)品的型號不同也有差異。

問:3.內(nèi)漏與外漏區(qū)別是什么?

答:內(nèi)漏是指氣體整個(gè)氣路內(nèi)部泄漏,主要是電磁調(diào)節(jié)閥關(guān)不死造成的;外漏是管路中氣體漏到氣路外部,主要是接頭密封不嚴(yán)造成的。

問:4.設(shè)定點(diǎn)精度與滿量程精度的區(qū)別是什么?

答:設(shè)定點(diǎn)精度是相對于設(shè)定點(diǎn)本點(diǎn)的精度,滿量程精度是相對于滿量程流量的精度。舉例:量程為 100SCCM 的流量控制器,當(dāng)設(shè)定 50SCCM 時(shí),其設(shè)定點(diǎn)精度為±0.5SCCM,即 50×(±1%)=±0.5SCCM;滿量程精度為 ±1SCCM,即100SCCM×(±1%)=±1SCCM。

問:5.什么是產(chǎn)品響應(yīng)時(shí)間?

答:當(dāng)流量設(shè)定點(diǎn)發(fā)生變化時(shí),流量控制器的流量穩(wěn)定達(dá)到流量設(shè)定點(diǎn)的一定范圍內(nèi)的最短時(shí)間。響應(yīng)時(shí)間又分為氣特性響應(yīng)時(shí)間和電特性響應(yīng)時(shí)間,氣特性響應(yīng)時(shí)間是指實(shí)際流量達(dá)到設(shè)定值所需的時(shí)間,電特性響應(yīng)時(shí)間是指流量控制器的輸出信號達(dá)到設(shè)定值所需時(shí)間,一般來說氣特性響應(yīng)要快于電特性響應(yīng)。




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